多點式晶圓級探針系統
QualiTau 的多點式探針系統不僅僅是一張探針卡,而是一套完整的探測解決方案,能夠同時測試數十到數百個待測單元(DUT)。該系統包含:探針台、防震平台遮光密閉罩、配備高倍率光學鏡頭的數位相機、可選配的真空熱卡盤、多針腳迷你探針卡以及 QualiTau 專利的多探針卡定位技術,可將多張探針卡精確地分佈於整片晶圓表面.這項技術實現了多維度的對位控制,包括:測試台的全域 X、Y、Z 及旋轉(Theta)調整,導軌上的 X、Y 調整,每個定位頭的精密 X、Y、Z 微調功能,這些功能確保了在進行多點並行測試時,系統能維持極高的對位精度與穩定性。
