首頁
1
商品介紹
2
Wafer Macro & Micro Optical Inspection 晶圓外觀檢測機3
首頁 商品介紹 封裝測試設備 Assembly and Test Wafer Macro & Micro Optical Inspection 晶圓外觀檢測機
106

Wafer Macro & Micro Optical Inspection 晶圓外觀檢測機


c5b3a07633ce142603fa6d8884dfd44c.jpg72f069d0df08f3f873775a222d923616.jpg7b565497c1c67cad85de3caa154aa670.jpgc788406e1337afe8a8e236ecd1cd206a.jpg

 

1) Main structures and 5-axis robot dual

arm with         two vacuum ceramic end-

effecter

2) Manual Load port to place 8” wafer

cassette and 12” wafer FOSB/FOUP

3) Auto Load port to place 8” wafer cassette

and 12” wafer FOUP

4) Pre-Aligner

5) OCR (Optical Character Recognition)

6) Macro Visual Inspection module with 8”

Wafer Conversion Kit

7) Micro Inspection Module

8) 1St die identification module

9) Machine control module

10) ULPA filter (option).

 

1015937