MIRA (封裝及晶圓級)可靠度測試系統

MIRA (封裝及晶圓級)可靠度測試系統

MIRA 系統提供多種配置選項,可滿足電遷移(EM)、接觸窗電遷移(Contact EM)、應力遷移(Stress Migration)、矽通孔(TSV)以及矽光子(Silicon Photonics)等測試需求。MIRA 主機架構最多可支援四個相同或不同的應用模組組合,為多樣化的測試需求提供最大的靈活性。