全光譜橢偏儀/測厚儀/量測儀/光譜儀
全光譜橢偏儀、反射率、透過率、測厚儀等多功能複合機
1.波長範圍：193nm~1700nm
2.精密量測膜厚及折射率(反射率：Option)
3.橢偏參數精度：
≦±0.01 for Tan (ψ)；≦±0.01 for Cos (Δ)快速量測：＜2 Sec.
4.全自動量測(Recipe Driven)
5.可直接量測鍍膜在透明基板，而無需在基板背面打毛及染黑
（Ex : ITO on Glass、SiN on Glass ....）
6.各種功能材料的光學常數測量和光譜特性分析
1.波長範圍：193nm~1700nm
2.精密量測膜厚及折射率(反射率：Option)
3.橢偏參數精度：
≦±0.01 for Tan (ψ)；≦±0.01 for Cos (Δ)快速量測：＜2 Sec.
4.全自動量測(Recipe Driven)
5.可直接量測鍍膜在透明基板，而無需在基板背面打毛及染黑
（Ex : ITO on Glass、SiN on Glass ....）
6.各種功能材料的光學常數測量和光譜特性分析
