Wafer Macro & Micro Optical Inspection 晶圆外观检测机

1) Main structures and 5-axis robot dual

arm with         two vacuum ceramic end-

effecter

2) Manual Load port to place 8” wafer

cassette and 12” wafer FOSB/FOUP

3) Auto Load port to place 8” wafer cassette

and 12” wafer FOUP

4) Pre-Aligner

5) OCR (Optical Character Recognition)

6) Macro Visual Inspection module with 8”

Wafer Conversion Kit

7) Micro Inspection Module

8) 1St die identification module

9) Machine control module

10) ULPA filter (option).