電子暨半導體部門
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Equipment, Process
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Equipment, Inspection & Measurement
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Assembly and Test
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Materials
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Sub-Systems, Components, Parts
＋Mask Aligner System
＋Evaporator System
＋ICP RIE System
＋PECVD System
＋Wafer Bonding System
＋Sputter System
＋Plasma Stripper System
＋LED Chip Mapping Sorter
＋LED Chip Probe Station
＋LED AOI Sorter
＋LED Die Bonder
＋Spin Coater
＋Wet Bench
＋Spin Dryer
＋Spectroscopic Reflectometer
＋Ellisometer
＋Surface Profiler
＋MORE………
LED Products
化學濕法清洗台（Wet Bench）
提供晶圓濕法清洗制程所需之顯影，蝕刻，濕法去膠，晶圓清洗，晶圓烘乾多功能濕法清洗機器。
可編程PLC全程控制PROCESS加熱，震盪，N2 BUBLE 清洗方式。
操作簡便，維護成本低。
化學濕法清洗台（Wet Bench）