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 蒸發台（Evaporator System） |
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| AST公司在中國大陸LED設備中游市場佔有率最高，達到65%，設備穩定性高，採用標準化部件，服務到位，極大降低用戶端成本。 |
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因應功率IC(Ti/Ni/Ag)及ⅢⅤ族砷化鎵晶圓各種Lift-Off制程需求（Ti、Au、Al、Ni、Cr、AuGe等），將Throw Distance拉高至＞26~32吋 |
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Run to Run膜厚均勻性可控制至＜±1%，以確保整體產品良率 |
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最佳化蒸鍍腔及排氣系統設計，可有效降低Cycle time，並提升材料利用率（提高20%） |
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特殊設計的夾治具，針對薄片制程（<100微米），可靠度極佳 |
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