電子暨半導體部門
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Equipment, Process
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Equipment, Inspection & Measurement
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Assembly and Test
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Materials
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Sub-Systems, Components, Parts
＋Mask Aligner System
＋Evaporator System
＋ICP RIE System
＋PECVD System
＋Wafer Bonding System
＋Sputter System
＋Plasma Stripper System
＋LED Chip Mapping Sorter
＋LED Chip Probe Station
＋LED AOI Sorter
＋LED Die Bonder
＋Spin Coater
＋Wet Bench
＋Spin Dryer
＋Spectroscopic Reflectometer
＋Ellisometer
＋Surface Profiler
＋MORE………
LED Products
等離子蝕刻系統 ICP RIE System(14-1 FOR 2"-8")
AST公司在中國大陸LED設備中游市場佔有率最高，達到65%，設備穩定性高，採用標準化部件，服務到位，極大降低用戶端成本。
採用獨特的冷卻系統，可為客戶提供不同制程需求（Mesa,Isolation,PSS等）
可為紅黃光LED市場提供高速率深蝕刻系統
具備PC Based全自動化操作功能，親的方便的使用介面，智慧型偵錯及全方位互鎖保護設計，擁有良好的使用者成本及運轉成本，搭配Cluster Tool傳輸平臺，更可大幅度提高工廠的效率與生產力
提供最高產出率（Max:30Pcs/Run）,高再現性與穩定性，優異的Batch to Batch均勻性<±3%
等離子蝕刻系統
ICP RIE System(14-1 FOR 2"-8")