電子暨半導體部門
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Equipment, Process
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Equipment, Inspection & Measurement
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Assembly and Test
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Materials
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Sub-Systems, Components, Parts
+Mask Aligner System
+Evaporator System
+ICP RIE System
+PECVD System
+Wafer Bonding System
+Sputter System
+Plasma Stripper System
+LED Chip Mapping Sorter
+LED Chip Probe Station
+LED AOI Sorter
+LED Die Bonder
+Spin Coater
+Wet Bench
+Spin Dryer
+Spectroscopic Reflectometer
+Ellisometer
+Surface Profiler
+MORE………
LED Products
晶圓甩幹機(Spin Dryer)
敦儀科技公司專業致力與SRD設備的研究開發和製造,多年來致力於IC和LED 和 LCD業界的和服務,其品質與同業競爭對手相比有性能指標穩定,操作方便,維修快捷,以優秀的品質,一流的售後服務在業界享有良好的盛譽.
提供在濕法蝕刻工藝後徹底清洗WAFER表面殘餘化學殘液及雜質之功能。
能夠通過工藝所需設定低,高(0—2800RPM)速離心力甩幹水份,同時充入加熱N2(50-70度)保證晶圓清洗品質。
清洗後WAFER表面無水痕,顆粒產生量< 30顆(直徑0.3UM以上)。