電子暨半導體部門
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Equipment, Process
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Equipment, Inspection & Measurement
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Assembly and Test
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Materials
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Sub-Systems, Components, Parts
＋Mask Aligner System
＋Evaporator System
＋ICP RIE System
＋PECVD System
＋Wafer Bonding System
＋Sputter System
＋Plasma Stripper System
＋LED Chip Mapping Sorter
＋LED Chip Probe Station
＋LED AOI Sorter
＋LED Die Bonder
＋Spin Coater
＋Wet Bench
＋Spin Dryer
＋Spectroscopic Reflectometer
＋Ellisometer
＋Surface Profiler
＋MORE………
LED Products
表面輪廓儀（Surface Profiler）
美國AMBIOS出品的| High Resolution Surface Profilometer價格低，體積小巧，性能卓越。
可用於測量輪廓、臺階高度、膜厚、薄膜應力，用於控制各種薄膜的生長工藝。
XP-2臺階儀帶有極低接觸力選件、大尺寸200mm真空吸樣台、大範圍150mmx150mm自動二維自動臺階、光學變焦系統、薄膜應力測試軟體等。
放上樣品後所有操作由滑鼠點擊軟體介面實現，無需手的動作或操作按鈕。
表面輪廓儀（Surface
Profiler）
