電子暨半導體部門
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Equipment, Process
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Equipment, Inspection & Measurement
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Assembly and Test
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Materials
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Sub-Systems, Components, Parts
＋光刻機系統
＋蒸發台
＋ICP RIE System
＋氣相輔助式沉積系統
＋鍵合機
＋濺射台
＋等離子去膠機
＋LED 晶片分選機
＋LED 晶片探針台
＋外觀NG晶粒檢選機
＋全自動高速固晶機
＋直立/桌上 型多/單 頭式塗布機
＋化學濕法清洗台
＋晶圓甩幹機
＋全光譜膜厚測量儀
＋全/單 光譜橢偏儀
＋表面輪廓儀（臺階儀）
＋更多产品………
LED Products
LED Products
光罩對準機
蒸發台
蝕刻系統
氣相輔助式沉積系統
晶圓鍵合機
濺射台
等離子去膠機
LED 晶片分選機
LED 晶片探針台
外觀NG晶粒檢選機
全自動高速固晶機
直立/桌上 型多/單 頭式塗布機
化學濕法清洗台
晶圓甩幹機
全光譜膜厚測量儀
全/單 光譜橢偏儀
表面輪廓儀（臺階儀）
旋轉塗佈機/顯影機/濕槽
磊晶片
1
橢圓儀
1
真空鍍膜/蝕刻系統
1
晶圓鍵合機
電漿清洗機
電子束影顯微系統
原子力顯微鏡
3D立體掃描電子顯微鏡
打線機,粘粒機
電射切割機
金/鋁/銅線
晶片研磨拋光機
橢圓儀
點膠機
藍寶石基板
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