電子暨半導體部門
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Wafer Fab, Opto Electronic生產設備
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量測設備
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Opto Electronic, IC裝配生產設備
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真空配件&其他
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耗材&零件
＋光刻機系統
＋蒸發台
＋ICP RIE System
＋氣相輔助式沉積系統
＋鍵合機
＋濺射台
＋等離子去膠機
＋LED 晶片分選機
＋LED 晶片探針台
＋外觀NG晶粒檢選機
＋全自動高速固晶機
＋直立/桌上 型多/單 頭式塗布機
＋化學濕法清洗台
＋晶圓甩幹機
＋全光譜膜厚測量儀
＋全/單 光譜橢偏儀
＋表面輪廓儀（臺階儀）
＋更多产品………
LED部門
Wafer Fab, Opto Electronic生產設備
真空鍍膜/蝕刻系統
晶圓鍵合機
電漿清洗機
電鍍槽 (微機電模具)
光罩對準機
旋轉塗佈機/顯影機/濕槽
投影式掃瞄曝光機
電漿清洗機
電子束影顯微系統
量測設備
原子力顯微鏡
接觸角 / 表面張力分析儀
膜厚量測儀
表面輪廓儀
橢圓儀
3D立體掃描電子顯微鏡
光學干涉輪廓儀
Nnano scratch and indentation tester
表面缺陷檢查機
磨擦力測試機
