電子暨半導體部門
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Equipment, Process
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Equipment, Inspection & Measurement
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Assembly and Test
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Materials
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Sub-Systems, Components, Parts
+光刻機系統
+蒸發台
+ICP RIE System
+氣相輔助式沉積系統
+鍵合機
+濺射台
+等離子去膠機
+LED 晶片分選機
+LED 晶片探針台
+外觀NG晶粒檢選機
+全自動高速固晶機
+直立/桌上 型多/單 頭式塗布機
+化學濕法清洗台
+晶圓甩幹機
+全光譜膜厚測量儀
+全/單 光譜橢偏儀
+表面輪廓儀(臺階儀)
+更多产品………
LED Products
濺射台(Sputter System)
AST公司在中國大陸LED設備中游市場佔有率最高,達到65%,設備穩定性高,採用標準化部件,服務到位,極大降低用戶端成本。
高產出率(80 * ∮2”wafers)。
高鍍膜品質再現性與穩定性。
優異的Batch to Batch鍍膜均勻性(<3%)。
可擴充多樣工業用方形靶材(Up to 4 Cathodes of Target)。