電子暨半導體部門

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Wafer Fab, Opto Electronic生產設備
. 量測設備 
. Opto Electronic, IC裝配生產設備
. 真空配件&其他 
. 耗材&零件
LED部門
   

 
氣相輔助式沉積系統(PECVD System)
   AST公司在中國大陸LED設備中游市場佔有率最高,達到65%,設備穩定性高,採用標準化部件,服務到位,極大降低用戶端成本。
採用特殊的Shower Head設計,搭配獨立的RF設計以此達到令人滿意的成膜品質
可搭配AST聚昌科技Cluster Tool傳輸平臺,將可大幅提升P200C設備的高晶圓產出率與設備使用彈性,效率,有效降低人工成本與人為疏失所造成的良率損失
具有獨特的低溫制程,保證客戶在不同參數的制程條件下,製造出優質的產品

   
 
 
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