電子暨半導體部門
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Wafer Fab, Opto Electronic生產設備
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量測設備
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Opto Electronic, IC裝配生產設備
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真空配件&其他
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耗材&零件
+光刻機系統
+蒸發台
+ICP RIE System
+氣相輔助式沉積系統
+鍵合機
+濺射台
+等離子去膠機
+LED 晶片分選機
+LED 晶片探針台
+外觀NG晶粒檢選機
+全自動高速固晶機
+直立/桌上 型多/單 頭式塗布機
+化學濕法清洗台
+晶圓甩幹機
+全光譜膜厚測量儀
+全/單 光譜橢偏儀
+表面輪廓儀(臺階儀)
+更多产品………
LED部門
氣相輔助式沉積系統(PECVD System)
AST公司在中國大陸LED設備中游市場佔有率最高,達到65%,設備穩定性高,採用標準化部件,服務到位,極大降低用戶端成本。
採用特殊的Shower Head設計,搭配獨立的RF設計以此達到令人滿意的成膜品質
可搭配AST聚昌科技Cluster Tool傳輸平臺,將可大幅提升P200C設備的高晶圓產出率與設備使用彈性,效率,有效降低人工成本與人為疏失所造成的良率損失
具有獨特的低溫制程,保證客戶在不同參數的制程條件下,製造出優質的產品