電子暨半導體部門

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LED部門
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氣相輔助式沉積系統

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鍵合機

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等離子去膠機

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LED 晶片分選機

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化學濕法清洗台

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晶圓甩幹機

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全光譜膜厚測量儀

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全/單 光譜橢偏儀

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表面輪廓儀(臺階儀)

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鍵合機(Wafer Bonding System)
   AST公司在中國大陸LED設備中游市場佔有率最高,達到65%,設備穩定性高,採用標準化部件,服務到位,極大降低用戶端成本。
應用于高端LED量產型公司及研發機構
可適用於Si-GaN,Si-GaAs等鍵合工藝
全自動操控介面,降低人工成本
採用模組化設計,可使客戶有效利用淨化廠房

   
 
 
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