電子暨半導體部門
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Wafer Fab, Opto Electronic生產設備
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量測設備
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IC裝配生產設備,Opto Electronic設備
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真空配件&其他
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耗材&零件
LED部門
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蒸發台
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ICP RIE System
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氣相輔助式沉積系統
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鍵合機
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等離子去膠機
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LED 晶片分選機
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LED 晶片探針台
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直立/桌上 型多/單 頭式塗布機
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化學濕法清洗台
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晶圓甩幹機
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全光譜膜厚測量儀
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全/單 光譜橢偏儀
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表面輪廓儀(臺階儀)
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鍵合機
(Wafer Bonding System)
AST公司在中國大陸LED設備中游市場佔有率最高,達到65%,設備穩定性高,採用標準化部件,服務到位,極大降低用戶端成本。
應用于高端LED量產型公司及研發機構
可適用於Si-GaN,Si-GaAs等鍵合工藝
全自動操控介面,降低人工成本
採用模組化設計,可使客戶有效利用淨化廠房