電子暨半導體部門
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Wafer Fab, Opto Electronic生產設備
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量測設備
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Opto Electronic, IC裝配生產設備
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真空配件&其他
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耗材&零件
+光刻機系統
+蒸發台
+ICP RIE System
+氣相輔助式沉積系統
+鍵合機
+濺射台
+等離子去膠機
+LED 晶片分選機
+LED 晶片探針台
+外觀NG晶粒檢選機
+全自動高速固晶機
+直立/桌上 型多/單 頭式塗布機
+化學濕法清洗台
+晶圓甩幹機
+全光譜膜厚測量儀
+全/單 光譜橢偏儀
+表面輪廓儀(臺階儀)
+更多产品………
LED部門
等離子蝕刻系統 ICP RIE System(14-1 FOR 2"-8")
AST公司在中國大陸LED設備中游市場佔有率最高,達到65%,設備穩定性高,採用標準化部件,服務到位,極大降低用戶端成本。
採用獨特的冷卻系統,可為客戶提供不同制程需求(Mesa,Isolation,PSS等)
可為紅黃光LED市場提供高速率深蝕刻系統
具備PC Based全自動化操作功能,親的方便的使用介面,智慧型偵錯及全方位互鎖保護設計,擁有良好的使用者成本及運轉成本,搭配Cluster Tool傳輸平臺,更可大幅度提高工廠的效率與生產力
提供最高產出率(Max:30Pcs/Run),高再現性與穩定性,優異的Batch to Batch均勻性<±3%