電子暨半導體部門

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Wafer Fab, Opto Electronic生產設備
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LED部門
. 蒸發台
. ICP RIE System

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氣相輔助式沉積系統

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鍵合機

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等離子去膠機

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LED 晶片分選機

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LED 晶片探針台

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直立/桌上 型多/單 頭式塗布機

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化學濕法清洗台

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晶圓甩幹機

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全光譜膜厚測量儀

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全/單 光譜橢偏儀

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表面輪廓儀（臺階儀）

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等離子蝕刻系統 ICP RIE System(14-1 FOR 2"-8")
   AST公司在中國大陸LED設備中游市場佔有率最高，達到65%，設備穩定性高，採用標準化部件，服務到位，極大降低用戶端成本。
採用獨特的冷卻系統，可為客戶提供不同制程需求（Mesa,Isolation,PSS等）
可為紅黃光LED市場提供高速率深蝕刻系統
具備PC Based全自動化操作功能，親的方便的使用介面，智慧型偵錯及全方位互鎖保護設計，擁有良好的使用者成本及運轉成本，搭配Cluster Tool傳輸平臺，更可大幅度提高工廠的效率與生產力
提供最高產出率（Max:30Pcs/Run）,高再現性與穩定性，優異的Batch to Batch均勻性<±3%

　 　
　
　
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