電子暨半導體部門

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Equipment, Process
. Equipment, Inspection & Measurement
. Assembly and Test
. Materials
. Sub-Systems, Components, Parts
LED Products
   

　
晶圓甩幹機（Spin Dryer）
敦儀科技公司專業致力與SRD設備的研究開發和製造,多年來致力於IC和LED 和 LCD業界的和服務,其品質與同業競爭對手相比有性能指標穩定，操作方便，維修快捷，以優秀的品質,一流的售後服務在業界享有良好的盛譽.
提供在濕法蝕刻工藝後徹底清洗WAFER表面殘餘化學殘液及雜質之功能。
能夠通過工藝所需設定低，高（0—2800RPM）速離心力甩幹水份，同時充入加熱N2（50-70度）保證晶圓清洗品質。
清洗後WAFER表面無水痕，顆粒產生量< 30顆（直徑0.3UM以上）。

　 　
　
　
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