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 ABM
光刻機系統(Mask Aligner System) |
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| 美國ABM公司已經成功售出了400多套光刻機設備，是黃光制程最優化的選擇,在中國大陸以及臺灣LED業界佔有率最高(70%以上),該公司生產的350W/NUV/DCCD/M型對準式光刻機是全球LED業界最為暢銷的機型,另有SEMIAUTO/AUTO ALIGMENT,等自動化機型和功能可供選擇. |
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使用365/400/436納米波長的近紫外波長,最小線寬可以做到0.6微米以下 |
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CCD傳送圖像,操作員可以通過顯示器輕鬆完成掩範本和基板的對準,減少疲勞,降低誤操作 |
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同檔次設備中性價比極高,穩定性媲美歐洲產品,完善的技術支援和業內口碑良好的售後服務 |
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高效率的產能,45片-60片/小時。 |
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機型設計簡潔,操作方便,功能升級無須更換機型,維護所需時間和成本極少 |
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| 隨著LED工業的產能不斷增加和工藝技術的持續改善,ABM光刻機已經受到越來越多客戶的信賴和支援,相信在中國大陸高品質LED晶片產業的蓬勃發展的趨勢下,美國ABM 光刻對準系統一定會成為您黃光制程不二之選. |
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